技术编号：6133612
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地说涉及一种用于测量位移(物体位置的变化)的仪器，该仪器包括一些可以测量力、压力或其它物理量的传感器，这些物理量可以通过其产生的位移利用转换器得到，更具体地说，涉及用于以高分辨率和高精度测量位移的光干涉仪。传统的用于精确测量位移的仪器是外差式光干涉仪。这种干涉仪利用两种频率的相干光。因此，需要两个激光器，或一个产生两种频率的激光器，或一单一频率的激光器加一或二个光频移器。由于这些元件的尺寸和热负载问题，该双频率光源通常单独安置，与干涉仪的位移传感...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。