光学式测定装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6133618

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本发明涉及接收来自放置在台上的被测物的反射光或透射光、测定被测物的尺寸及形状的光学式测定装置。详细地说,涉及在不改变放置在台上的被测物的姿态的情况下进行被测物的多个不同的面的测定的光学式测定装置。迄今,将光照射在被测物上、接收来该被测物的反射光、测定被测物的尺寸等的光学式测定装置是这样构成的,即将光学系统配置在放置被测物的台的上方,使光线从该光学系统向下照射,用光学系统接收来自被测物的上表面的反射光,测定被测物的尺寸等。在现有的光学式测定装置的结构中,由于...
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