技术编号:6133855
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本明涉及一种用于测量流体的黏度、密度、浓度等的具有压电元件的传感器装置。到目前为止,为了测量流体的黏度、密度、浓度等,一直使用一种利用诸如压电元件的振动器的传感器装置。图20A和图20B示出了这种类型的传感器装置的一个例子,在其中,图20A是该传感器装置的透视图,而图20B是沿VI__VI线取的该传感器装置的局部放大的剖面图。传感器装置40包括一个带有一个薄的振动部分14的主体12。在振动部分14的一个表面上固定有一个具有压电膜22和一对与压电膜22相接触...
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