烃气传感器及其制造方法技术资料下载

技术编号:6133950

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本发明涉及一种多层烃气传感器,特别是涉及一种选择性地响应不同易燃气体的多层烃气传感器。通常有两种气体传感器,一种是半导体型或电阻型气体传感器,其中将半导体用作敏感材料,另一种是pellistor型气体传感器,其中把钯或铂等催化剂用作敏感材料。半导体气体传感器通常用于检测还原气体例如一氧化碳(CO),氢和醇类,pellistor型传感器通常用于检测易燃气体例如LNG和LPG。附图说明图1A和1B示意性地示出典型的半导体型气体传感器结构,图1A示出了一个厚膜型...
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