位移检测装置、位移测量装置和固定点检测装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6134638

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本发明涉及通过检测由衍射光栅衍射的衍射光检测位移的位移检测装置,通过采用由衍射光栅衍射的衍射光的干涉测量位移量的位移测量装置,以及通过衍射光检测固定点的固定点检测装置。背景技术 已知设计成利用光的干涉检测安装到活动标尺上的衍射光栅的位置位移的光栅干涉仪。现在,通过参照附图的图1在下面描述位移检测装置。图1示意性描述包括透过型衍射光栅的位移检测装置。如图1中所示,位移检测装置包括相干光源部分90、第一透镜91、第一偏振光束分离器(PBS)92、第一四分之一波...
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