叠层电容式力敏传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6135074

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本实用新型涉及一种性能参数一致性好的电容式力敏传感器,属物理测量仪器。电容式力敏传感器的传感电容极板间的距离难以做得很一致,因而其电容量、灵敏度等参数也有相当的不一致。这增加了装配这种传感器的仪器、仪表的成本和制作难度。本实用新型的目的是用多个电容式力敏传感器并联的方式,改善其总体参数的一致性,并提出一种简单廉价的电容式力敏传感器的结构设计。本实用新型的内容是并联电容式力敏传感器。它由多个单独的电容式力敏传感器并联而成。只要适当选配单个电容式力敏传感器的参...
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