技术编号：6135595
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于精密测量的光电式编码器和作为编码器的主要构成部件的标尺的制造方法。背景技术 现在利用光电式编码器(以下也称作“编码器”)对直线位移和角位移进行精密测量。编码器安装在三维测量仪和图像测量仪等仪器内。以下，简单说明用编码器进行测量的原理。使光源部和受光部相对标尺移动着，与此同时，通过在空间相位不同的多个分度格栅中选择的一个分度格栅，把光源部发射的光照射在标尺的光栅上，由此，形成多个相位不同的正弦波形光信号(例如四个)，利用对应各个相位的多个光电二...
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