导航级微机械加工的转动传感系统的制作方法技术资料下载

技术编号:6136432

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本发明总的涉及用于导航之类的场合的转动传感器。本发明尤其是涉及一种在重返大气层航空器等的高G、高振动环境中工作时可提供高精度的转动传感系统。更具体地说,本发明涉及一种基于硅芯片的转动传感系统,它具有测量围绕两根正交传感轴线的转速的科氏加速度传感器。以前所知道的微机械加工的科氏转动传感系统已表明偏离可重复性(biasrepeatability)在10°到1000°/小时的范围内。根据这些原理的分析,尽管它符合本发明的转动传感系统目前设置的低成本和高可靠性的目...
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