多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量电致伸缩系数的方法技术资料下载

技术编号:6137052

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本发明涉及一种测量电致伸缩系数的方法。 背景技术所有涉及自动控制的机电系统和器件中,驱动器常被认为是限制其性能和寿命的最为关键的因素之一,而在众多的驱动器类型中,压电/电致伸缩驱动器因其响应快、承载力高、能耗低和价格低等特点而备受关注。目前,压电/电致伸缩驱动器已成功地应用在激光器谐振腔、精密定位、精密加工、智能结构、生物工程、航空航天、电子通讯、汽车工业、机器人关节、医疗器械等众多,并正在形成一个潜力巨大的产业。因此,对于压电/ 电致伸缩新材料、新工艺及...
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