技术编号：6137488
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于微结构微细加工，具体涉及一种用于对激光束、离子束或电子束微细加工中，蚀刻深度进行实时检测的蚀刻深度传感器。目前对微结构微细加工中蚀刻深度的测量尚无良策。对少数材料的蚀刻深度的检测往往采用激光光谱法。该法依据被蚀刻材料的特征光谱强度，进行蚀刻深度的检测，由于光强测量本身精度不高，所以该法的缺点是测量误差较大。本实用新型的目的在于提供一种可对蚀刻深度进行实时检测，并提高测量精度的蚀刻深度传感器。本实用新型主要由激光器、固定支架、敏感元件、光电转换...
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