技术编号：6138381
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光测位移。背景技术 激光位移传感器应用广泛，基于干涉的位移传感器有传统的干涉仪和自混合干涉仪等。对于传统的干涉仪例如双频激光干涉仪其技术成熟并且在计量和测量中应用广泛。但双频激光干涉仪结构复杂，准直性要求高，价格昂贵。自混合干涉位移测试技术的研究是80年开始兴起的，大部分的研究都集中于半导体激光器中的自混合干涉研究。该种位移测量装置光路系统只有一只激光器和一个外界反射物(例如一反射镜)。激光器输出的光被反射或散射后返回激光谐振腔，与腔内光混合引...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。