技术编号:6138834
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于自动感测一个诸如调谐电容器的可动极板的驱动元件的起始位置的设备。本发明更具体地涉及一个用于与高功率RF装置诸如等离子发生装置进行阻抗匹配的密封伺服调谐电容器。本发明还针对一个可调谐电容器,用于自动RF匹配网络,以便将一个反应等离子室或类似的非线性负载的阻抗与一RF发生器或类似RF源的一恒定阻抗(例如,50欧姆)输出匹配。在一个典型的RF等离子发生器结构中,高功率RF源在预置频率、即13.56MHz产生一个RF波,并沿一个功率导管(power ...
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