技术编号:6138919
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于重复输送精确体积的液体的装置,尤其涉及一种用于使用液压液体输送精确体积的液体的装置。很多行业都要求把精确体积的液体输送到应用区。例如,把精确体积的感光性树脂合成物输送到硅片基体上,以便在该硅片上形成一层均匀厚度的感光性树脂层。输送精确体积的液体这一要求必须由一种能在长时间内重复输送同样体积的试样液体的装置来实现。目前有种类繁多的输送液体用的装置。使用膜盒的装置不理想,因为膜盒的壁是顺从的。这样,被输送的液体的体积将随该液体的压力的变化而变...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。