技术编号:6139346
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及干涉仪,具体地说,涉及补偿空气扰动对干涉仪测量的影响的长度测量干涉仪。利用激光光束的干涉仪被用于进行高精度位移测量,例如控制用于集成电路(IC)生产中的圆片分档器所需要的高精度位移测量。在长度测量激光干涉仪中,来自激光光源的光被分成两束。参考光束被静止参考反射镜反射,而测量光束被移动测量反射镜反射。两束光被重新叠加在探测器处。叠加光束的光强度依赖于参考路径和测量路径之间的光程差。光程测量通常达到激光波长的几分之一的精确度。长度测量干涉仪通常分为D...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。