技术编号：6139585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械中的微机械陀螺，特别涉及具有较高灵敏度和带宽的差分式微机械陀螺。背景技术微机械电子系统(MEMS)是利用微加工技术将电子器件和机械装置集成在同一块硅片上，同时使其具有特定功能的系统。其中电子器件是利用集成电路加工技术制造的，而机械装置是利用与集成电路加工技术兼容的微机械制造工艺加工而成的。因此使得使用标准工艺在单芯片上实现整个系统集成成为可能。MEMS最广泛的应用就是设计和制造微型传感器。使用传感器的机电部分产生敏感信息，而电子部分则对...
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