技术编号:6140763
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及到微小位移干涉测量仪,特别是涉及到使用正弦相位调制的半导体激光器的微小位移干涉测量仪。由于半导体激光器(以下简称为LD)波长的温度稳定性得到较好的解决,半导体激光干涉仪正在被广泛地研究开发。LD除体积小、用电省、价格低外,一个突出的优点是波长调制简便。这使得能提高测量精度的光外差技术在半导体激光干涉仪中可以简单地通过直接调制LD的注入电流来实现。日本新泻(Niigata)大学的佐佐木修己(Osami Sasaki)先生等提出了一种用于测量微小...
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