技术编号：6142253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发明简述本发明总的涉及传感装置。更具体地，本发明涉及校正传感器中的漂移的技术。背景技术压电电阻或电容传感器产生正比于施加到其上的物理力的、电阻或电容的改变量。这样的传感器通常被放置在硅膜片上，以测量硅膜片的偏转。在这样的传感器的组件方面，有许多问题。例如，基于硅的压电电阻压力传感器通过非常软的、可塑的粘合剂而被附着到一个组件或基片上，以使得没有残余的应力或力从该组件发送到传感器。假如有应力发送到传感器，传感器的膜片被偏转，在传感单元处产生测量的电阻值，它错...
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