技术编号：6142409
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微位移的测量装置，特别是一种微位移的光波导测量装置。属于精密测量仪器领域。背景技术 测量微位移在建筑物、桥梁长期监测以及地震的检测中有着广泛的应用。激光干涉仪是微位移测量的传统仪器。激光干涉仪通常有两臂构成，一个是参考臂，另一个是探测臂。从半导体激光器发出的激光经过分束镜后，光分成两路，一路光透过分束镜后，沿原来传播方向继续传播进入光路A，另一路光发生反射，进入光路B。在光路A和光路B末端都安装有反射镜。两束光反射后相遇，发生干涉形成稳定...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。