技术编号:6142413
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测力传感器,尤其涉及一种利用弹性体应变变形进行微摩擦测试的二维微力测量传感器,属于传感器。背景技术 随着微机电系统(MEMS)应用日益广泛,其体现出来的摩擦磨损问题日益突出。控制改善微机械表面特性是改善其微摩擦学性能的有效途径,通过表面纳米膜(或涂层)可以大幅降低磨损与粘着现象发生,从而提高微机械的使用寿命。微摩擦测试对于评估这些表面润滑膜的摩擦学性能有重要意义。微摩擦测试的核心是对微小载荷和摩擦力的测量,即微力测量传感器。现有公知的测力传感...
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