技术编号：6143002
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对密封物体的检漏，尤其涉及采用复合膜使测试气体通向 测试气体感应装置的测试气体检漏，以及制备复合膜的方法。背景技术氦质谱检漏是一种熟知的检漏技术。氦用作测试气体，通过密封测试 件中最小的漏隙。通过漏隙后，将含有氦的测试样品导入检漏装置并测量。 在所述装置中，质谱管对氦加以检测和测量。输入的测试样品由质谱管离 子化并进行质量分析以分离氦组分。在一种方法中，测试件用氦加压。与 检漏仪的测试端口相连的嗅探器探针在测试件外围移动。氦通过测试件中 的漏隙，...
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