电容压力计和涉及自动漂移校正的方法技术资料下载

技术编号:6143281

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本公开涉及压力换能器,更具体而言涉及拥有自动漂移校正的电容型压力计。背景技术在各种应用中已经采用了压力换能器。 一种这样的换能器是电容压力计,其提供 气体、蒸汽或其他流体准确而精确的压力测量。应用包括精确的压力测量和高精度气体和 蒸汽输送系统,在很多工业应用中它们已变得非常重要,例如在用于晶片和芯片制造的半 导体工业中,但其他应用也是已知的。这种流体输送系统通常还包括,但不限于诸如质量流 量控制器(MFC)和质量流量检验机(MFV)的装置,以调节和/或监测...
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