技术编号:6143502
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于测量角速度的测量装置,更具体地,涉及振动微机 械角速度传感器。本发明的目的是提供一种特别是在用于角速度传感器 的小型振动微机械方案中,能够以良好的性能实现可靠测量的改进的传 感器结构。背景技术基于振动角速度传感器的测量已经证明是用于角速度测量的工作原 理简单的可靠方法。在振动角速度传感器中,某种已知的主运动被引发并保持在传感器中。于是,以主运动的偏差形式检测要借助于传感器测量的期望运动。在垂直于谐振器运动方向的方向上影响传感器的外部角速度在测...
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