技术编号：6143552
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及移动体装置、曝光装置及图案形成装置、以及器件制 造方法，详言之，涉及具备沿既定平面移动于至少一轴方向的移动体 的移动体装置、具备该移动体装置的膝光装置及图案形成装置、以及 使用前述膝光装置或前述图案形成装置的器件制造方法。背景技术以往，在制造半导体元件(集成电路等)、液晶显示元件等的电子 器件(微型器件)的光刻工序中，较常使用步进重复方式的缩小投影爆 光装置(所谓步进机)、或步进扫描方式的缩小投影曝光装置(所谓扫描 步进机(也称扫描机))等。这种...
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