技术编号:6143720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,更具体地说,涉及通过聚 焦光束椭圆偏光部高速测量样本的属性然后通过测微部精密地测量出现了奇点(singularpoint)的位置的。 背景技术一般地,在物理、化学和材料领域的研究中,测量材料的光学属性 以及测量薄膜厚度是非常重要的。具体地说,在半导体工业中使用了多 种纳米薄膜制造工艺,并且广泛采用无损非接触实时测量设备的椭偏计 (ellipsometer)作为评价所制造的薄膜的物理属性的测量设备。目前已知作为测量材料的光学属性和薄膜的厚度的原理...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。