旋转速率传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6143790

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本发明涉及一种具有基板和能够在设计平面上相对于该基板移动的两个单独结构的旋转速率传感器,其中,这两个单独结构相耦合以形成耦合结构,从而使得该耦合结构具有作为激励模式的、移动结构沿设计平面上的第 一 方向反相偏转的第一振荡模式,并且该耦合结构具有作为检测模式的第二振荡模式,其中在激励第一振荡模式时并且在围绕旋转速率传感器的相对于设计平面成直角的灵敏轴的旋转期间,利用科里奥利加速来激励该第二振荡模式,并且该第二振荡模式具有检测谐振频率。背景技术WO 2005/...
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