技术编号：6143957
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 相关申请本申请涉及2006年6月30日提交的美国序列号11/479， 092，其又是2005年3月 25日提交的美国序列号11/090， 120的部分继续，这两个申请的内容在这里都通过引用被 全部并入。 背景 高精度流体输送系统在很多工业应用中已变得非常重要，例如在晶片和芯片制造 的半导体工业中。这样的流体输送系统一般包括诸如质量流量控制器(MFC)和质量流量检 验器(MFV)的部件以调节或监控流体流量。 单个半导体器件的制造可能需要对到通常包括处理...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。