技术编号:6144124
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及微机电系统(MEMS)传感器。更具体地,本发明涉及MEMS对称 差动电容式加速计。背景技术加速计是典型地用于测量加速力的传感器。这些力可以是静态的,如重力的恒力,或者它们也可以是动态的,由运动或振动加速计产生。加速计可以沿一个、两个或三个轴或 方向感测加速度或其他现象。根据此信息,可以确定在其中安装了加速计的设备的运动或 方位。加速计被用于内部引导系统、车辆的安全气囊展开系统、多种设备的保护系统,以及 许多其他的科学和工程学系统中。 由于其...
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