使用cmut的孔径综合的制作方法技术资料下载

技术编号:6144441

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使用CMUT的孔径综合背景技术随着诊断超声行业从用于二维(2D)成像的一维(ID)超声阵列迈向用于容积成像 的2D超声阵列,可能存在缩放的问题。例如,如果常规的ID阵列具有N = 200个元件,则相 应的2D阵列将具有NXN = 40,000个元件。超声系统传统上所具有的通道数目粗略地对 应于探针中元件的数目。然而,系统通道的成本使得这样的对应对于2D阵列是不实际的。2D超声成像可利用微加工或微组装的电容性薄膜超声换能器(cMUT)或者电致伸 缩材料换能器...
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