技术编号：6144589
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于光学位置测量装置的检测元件阵列。 背景技术已知的光学位置测量装置通常包括测量工具以及为此在测量方向上运动的扫描 单元。该扫描单元和测量工具通过两个物体连接，要确定它们相互间的相对位置和/或绝 对位置。在长度测量的情况下测量工具由直线测量尺构成，具有在测量方向上延伸的测量 分度，在旋转测量的情况下测量工具由分度盘构成，具有圆环形的测量分度。所述扫描单元 除了 一个或多个光源和光学元件如透镜、扫描光栅等以外，通常还包括检测装置。通过检测 装置...
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