技术编号：6144635
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。实施例涉及基于半导体晶片的器件。实施例还涉及相对湿度传感器。实施例另外 涉及精确测量湿度的相对湿度传感器结构。背景技术湿度在各种工业和商业应用中具有非常重要的作用。监测和控制湿度对各种系统 的可靠操作是非常重要的。例如，固态半导体器件在当今电大多数电子部件中获得应用。利 用半导体工艺制作基于半导体的传感器。湿度传感器仅代表一类获得有用的工业应用的基 于半导体的传感器。例如，现代的制作工艺通常需要测量对应于露点在_40°C和180°C之间 或相对湿度在和10...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。