技术编号：6144697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。检查装置本发明涉及一种用于检查接触敏感的平面材料或者工件，例如半导体工业的晶片、太阳能电池、玻璃、FPD基片或者生物传感器的生物活性基片以及具有接触敏感的弯曲表面的材料的检查装置。下面把各种材料或者工件都称为材料。所述材料的表面由多种多样的工序加工，在此加工例如是蒸发或者构图。在加工之后检查加工结果。为此例如可以采用带有图像识别和分析程序的照相机。用之既加工材料顶面也加工材料底面的技术也要求双面检查。检测顶面可以方便地进行，因为材料放在检查台上或者传送带上...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。