技术编号:6144700
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及白光干涉法,特别涉及以白光干涉法测量各种表面特性以及进行镀膜 表征。背景技术有关白光干涉法的现有技术仍有一些尚待克服之问题。下面的例子虽未必包括全 部状况,但由下面更细节之描述可知这些问题包括非必要的降低了白光干涉分辨率,和耗 用过多非必要信号处理时间及或计算资源。现仍有此基本需求来改进基于白光干涉法的测量技术。发明内容本发明的一个目的在于提供一种方法,以利用具有宽广光谱光源之白光干涉仪测 量一样品之表面形态。基于在样品和一参考面之间的相对扫描,...
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