技术编号：6144709
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据权利要求1的前序部分的、用于坐标测量仪的且具有机械扫描元 件的测量头系统，以及根据权利要求14的前序部分的、用于光学测量该测量头系统的扫描 元件的位移的方法。背景技术用于坐标测量仪的具有机械扫描元件的测量头系统很早就被用于精确测量目标 物体的表面。通常类型的用于相应的坐标测量仪的测量头系统也被称为扫描头，其例如由 EP 0 373 644 A1 公开。例如，借助坐标测量仪来检查机加工工件的目标形状以便控制质量。为了进行测 量，坐标测量仪的测量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。