技术编号：6144788
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1前序部分所述的偏航率传感器。 背景技术线性振动的偏航率传感器(Drehratensensoren)是通常已知的。在这样的偏航率 传感器中，传感器结构的一些部分被有源地置于一个方向的振动(主振动)中，即沿着第一 轴(X轴)的振动，该第一轴平行于衬底表面定向。在出现绕标出的敏感轴的外部偏航率时， 科氏力作用在传感器结构的振动部分上。周期性地随着主振动的频率变化的科氏力导致传 感器结构的部分在第二轴的方向上振动(二次振动)，该第二轴垂...
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