技术编号：6144908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据独立权利要求类型的用于微机械固体声传感器的电路以及用于 运行微机械固体声传感器的方法。背景技术由DE 10 2004 029 078 Al公开了，设有一种半导体加速度传感器以及借助于一 个机械的振动器测试所述半导体加速度传感器。由DE 101 48 858A1公开了一种具有自 测试功能的微机械传感器，其中，为了自测试，通过施加电压使微机械传感器的振动质量运动。发明内容与此相比，具有独立权利要求的特征的、根据本发明的用于微机械固体声传感器 的电...
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