用于大容量以及大电流的电迁移测试器的制作方法技术资料下载

技术编号:6145395

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用于大容量以及大电流的电迁移测试器背景技术越来越多的电迁移测试针对大电流应用,其中被测器件(DUT=Device Under Test)具有非常低的电阻。最典型的例子是用在半导体芯片的各种封装中的焊料凸块接触 部(“焊料凸块(solder-bump)”)。在这样的测试中,通常需要高达2. 0安培的应力电流 (stress current)0一旦DUT承受由于电迁移所引起的显著损害,它的电阻和耗散功率可能显著地增 加到热损害可能是灾难性的点。初看这不应是问题...
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