技术编号:6145583
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于将电子元件测试装置中的测试头的本体部与插座板电气地连接的接口构件、具备该接口构件和插座板且可拆装地安装在测试头的本体部上的测试部单元、测试头以及电子元件测试装置。背景技术在IC器件等电子元件的制造过程中,需要测试最终制造的电子元件的测试装置。 作为此类测试装置中的一种,已知通过在IC器件上施加高温或低温的热应力进行测试的直O在上述测试装置中,测试头的上部形成有测试腔室,一边通过空气进行控制,使得测试腔室内具有规定的设定温度,一边将保持同样具有...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。