热电模块及其制造方法技术资料下载

技术编号:6146010

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本发明涉及热电模块。更详细地说涉及例如空调机、冷热箱、半导体制造装置、光检测装置、激光二极管等的温度调节等所使用的热电模块。背景技术利用珀耳帖效应的热电模块由于流过电流而其一端发热,并且其另一端吸热,因此,被作为温度调节用模块使用。为了检测该热电模块的温度或由热电模块进行温度调节的部件的温度,在热电模块的基板上安装热敏电阻芯片等温度检测元件(例如参照专利文献l)。近年来,对于上述那样的热电模块要求高精度的温度控制,随之,要求温度检测精度进一步提高。此外,在...
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