技术编号：6146121
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微型机械电子系统，涉及到一种微结构或微器件动态特性测试的激振装置。背景技术近年来，采用MEMS技术制作的微器件在使用寿命、可靠性、成本、体积和重量等方面都显示出巨大的优势，使其在民用领域及军用领域有着越来越广泛的应用前景。对大多数微器件来说，其核心可动微结构的机械动态特性直接决定了它的实际使用性能，所以对可动微结构的机械动态特性进行测试是十分必要的。与宏观机械结构动态特性测试相似，MEMS微结构的动态测试系统也包括激振、测振和数据处理等三个基本环...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。