技术编号：6146866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学精密测量，特别涉及一种基于傅里叶变换的数字干涉条纹高精度分析方法及采用该分析方法实现的光学元件面形检测装置。背景技术在现代光学精密测量及计量中，光学元件面形检测、三维形貌获取及表面粗糙度测量等领域都涉及条纹的分析技术，此处的条纹可以是干涉条纹，也可以是投影条纹。对干涉条纹的分析，通常采用两种技术， 一种为相移技术，另一种为傅里叶变换分析技术。在相移技术中，需要对条纹进行多次记录，并且在每一次记录中都需要保证准确的相移量及稳定的光强，这样给测量...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。