技术编号:6146941
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械系统和微惯性测量技术,特别是一种摆动式硅微陀螺仪。 背景技术微机械惯性仪表包括微机械陀螺仪(MMG)和微机械加速度计(MMA)。利用微电子 加工工艺允许将微机械结构与所需的电子线路完全集成在一个硅片上,从而达到性能、 价格、体积、重量、可靠性诸方面的高度统一。因而,这类仪表具有一系列的优点(如 体积小、重量轻、价格便宜、可靠性高、能大批量生产等),在军民两方面都具有广泛 的应用前景。在民用方面,主要用于汽车工业、工业监控及消费类产品和机...
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