技术编号:6147270
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于热检测领域热电偶及其制作方法,特别涉及一种利用电化学法腐 蚀、微纳控制和真空蒸镀技术,从而加工出直径在数十微米到数十纳米范围的对 微小区域温度变化能够快速响应的微/纳米热电偶的制备方法及其制备装置。背景技术温度是表示物体冷热程度的物理量,微观上来讲是物体分子热运动的剧 烈程度。温度只能通过物体随温度变化的某些特性来间接测量,而用来量度 物体温度数值的标尺叫温标。温度测量是工业、农业、国防和科研等部门最普遍 的测量项目,在保证产品质量,提高生产效率...
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