技术编号:6147718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于静电力显微镜领域,特别是涉及--种静电力显微镜及其测量方法。背景技术静电力显〗敛镜(Electrostatic force microscopy, EFM)是基于原子力显 微镜(Atomic force microscopy, AFM)的技术,它能够测量两个物体之间的 静电相互作用力及其二维分布。静电力显微镜通过对静电力的动态测量得到样 品表面的电荷或电势的局域分布图像,已经成为材料微观结构和性质的重要表 征手段。静电力显微镜需要借助原子力显微镜...
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