技术编号:6147895
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于球面检测仪的检测镜头,特别是应用于菲索干涉 仪、以检测光学球面镜片的表面精度及曲率半径用的非接触式检测镜头。(二) 背景技术在球面镜片的生产过程中,镜片精度的检测至关重要。菲索干涉仪是检 测球面镜片表面精度的主要检测仪器。菲索干涉仪包括光源A、发散镜片B、 分光棱镜C、准直镜D、检测镜头E和摄像器F。光源A可使用发出单一波长 的气体放电灯,例如氦气和钠灯, 一般采用激光;摄像器F可为CCD摄像机; 检测镜头E朝向待测物G的一面称为基准面H...
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