技术编号:6147941
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明专利涉及薄膜压力传感器的敏感芯体组成结构,具体涉及 一种带自补偿网络的芯体。背景技术压力传感器中的薄膜压力传感器是利用应变测量技术发展起来 的传感器,己得到广泛应用。其通过弹性敏感芯体将压力转换成应变, 用溅射在弹性体上的应变电阻作敏感元件,将应变转换成电信号。压力传感器广泛用于恶劣环境下气体、液体或蒸汽的压力测量。 通常的压力传感器是通过外接串联零点补偿电阻、温度补偿电阻对传 感器进行零点补偿和温漂的补偿。这种补偿方法需增加手工丝绕电阻 进行反复调...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。