技术编号:6147972
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在生产柔性基材金属化薄膜过程中,对金属化薄膜的电阻 进行在线测量的装置。背景技术在柔性基材金属化薄膜的各项性能参数中,薄膜电阻是最重要最直接的参 数之一。它不仅可以反映薄膜的厚度,而且与薄膜的光学等其它性能密切相关。 因此,成膜过程中,通过在线连续测量薄膜电阻,从而控制金属化薄膜的成膜 条件,使所成薄膜的表面电阻在设定水平上均匀一致,由此还可以控制薄膜的 其它性能,提高产品质量和合格率。现有在线测量金属化薄膜电阻的技术中,有一种方法是将金属化...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。