技术编号：6148677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电技术(MEMS)领域的微陀螺，具体地说，涉及的是一种利用电磁和电晕作用工作的悬浮转子微陀螺仪。背景技术MEMS器件具有微小化、低成本、低能耗、可批量化的特点，近年来，各国的学者，工程师，尝试设计和制造悬浮转子MEMS微陀螺。在过去的二十多年的时间里，国内外应用硅的表面微细加工技术或者体微细加工技术加工出了很多种振动陀螺，但由于种种原因微振动陀螺很难达到传统陀螺的高精度。经过对现有技术的文献检索发现，中国专利号为20041001847...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。