技术编号：6148984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及互连线测试结构及相应测量方法。背景技术随着集成电路集成的晶体管数目急剧增加，连接所述晶体管的互连线日益复杂， 使得互连线的RC延迟对集成电路性能的影响也逐渐扩大。因此有关测量互连线电阻电容 等电学性质的技术成为业界关注的重点。互连线电阻及电容的测试原理通常为将结构与互连线相似的互连线测试结构制 造于集成电路中，再在集成电路制造完成后，通过对互连线测试结构电阻电容的测量，最终 得到互连线的电阻电容。目前业界通常采用无源互连...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。