技术编号：6149453
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光精密检测，具体为一种激光探针微区成分分 析仪(简称激光探针仪)，主要用于物质微区元素成分的定性与精确定量分 析。背景技术在冶金、机械、能源、化工、环保、生物制药等不同领域中，常常需 要对物质成分进行定性或者精确定量分析。常用的分析仪器主要包括电子 探针和扫描电镜能谱分析仪，它们能够比较准确地探测物质元素成分，特 别是在高倍放大条件下准确分析物相的微区成分。但是，这两种仪器存在 的不足之处是首先，设备体积庞大，对设备放置的环境要求高，如需要 恒...
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