技术编号：6149701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集驱动、加载、检测、微纳米级力学性能测试、超精密刻划加工和原位 观察为一体的高性能综合精密实验测试系统，尤其涉及各类试件或材料的微观力学性能测试 中的纳米压/划痕实验、原位纳米压/划痕实验和微纳米级原位金刚石刻划加工的装置，属集 光机电一体化的精密科学仪器。精密仪器是科技创新和经济社会发展的基石与重要保障，本 发明是用于测定表征各类试件或材料的微观力学性能参数的专用测试仪器，并可在高分辨率 数字显微成像系统的实时监测下研究被测试件或材料在载荷...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。